SECS/GEM简介
信息发布者Orion
1.什么是SECS/GEM 广义的SECS/GEM 是一套由SEMI组织制定的半导体设备通讯协议的总称。 其中包括SECS-I,SECS-II,HSMS,GEM,SEM等多个SEMI标准的子协议。 这些协议定义了半导体设备的数据样式 [...]
View More1.什么是SECS/GEM 广义的SECS/GEM 是一套由SEMI组织制定的半导体设备通讯协议的总称。 其中包括SECS-I,SECS-II,HSMS,GEM,SEM等多个SEMI标准的子协议。 这些协议定义了半导体设备的数据样式 [...]
View More1.半导体设备为什么需要SECSGEM 如果您已经读过我们之前文章,您大概已经对SECSGEM有了一个概念性的理解。 那么为什么在半导体行业中,半导体设备需要SECSGEM协议呢? 首先,半导体生产的工艺决定了半导体行业是设备密集型的。 [...]
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View More为了防止因通信异常时数据丢失,提供一种保护设备消息数据的方法。 保证了对制品作业的追溯,同时提高产品质量。 [...]
View More即CMS(Specification for carrier management,载具管理),是一个针对半导体制造流程中载体(如晶圆盒)管理的国际规范。由SEMI组织制定和发布。这项规范定义了在制造过程中用于控制和追踪载具的软件接口和机制。 [...]
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View MoreE40 协议 即 Standard for Processing Management(工艺流程管理标准),它涵盖了作业计划、作业调度、作业执行以及作业监控等方面的内容。它定义了如何描述作业的基本信息、如何设置作业的参数和条件、如何调度和执行作业,以及如何监控作业的状态和进度等。 [...]
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